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第三百四十七章 半导体产业会议

小说:重生08:从山寨机开始崛起作者:雨天下雨字数:7282更新时间 : 2024-12-17 00:12:13
    六月二十六日,徐申学视察了海湾科技,看到了已经处于量产阶段的HDUV-600型光刻机。

    当天晚上,海湾科技也在官网上首次公开了新一代DUV浸润式光刻机HDUV-600进入量产的消息。

    并公布了该型光刻机已经交付了第一台给智云微电子,将会用于最先进的等效七纳米工艺。

    这也是海湾科技首次对外公布该型光刻机的消息,包括一些详细的技术参数。

    这个消息也引来了媒体、业内人士甚至普通人的诸多关注。

    当天晚上,七点半新闻重点报告了该消息:本台记者消息,我国先进半导体装备企业海湾科技有限公司已经完成了最新一代DUV浸润式光刻机的研发工作。

    新型的HDUV-600型光刻机已经达到国际领先水平,填补了我国尖端半导体装备领域的空白,有力促进了我国半导体制造行业的发展。

    海湾科技负责人王道林表示,HDUV-600光刻机的各项技术参数已经达到国际领先水平,乃是当下最先进的光刻机,可以用来制造最低七纳米工艺的芯片

    一项设备的研发成功,能够做到上七点半新闻报道的程度,那可不容易,很少有设备能够做到这种程度的。

    但是光刻机却是可以!

    实际上,这不是海湾科技第一次上七点半新闻,实际上之前在HDUV-400光刻机,也就是第一代DUV浸润式光刻机研发成功后,就已经上过七点半新闻了,而当时的报道时长更长,更重视,还伴随着重要人员的视察……

    当时电视报道画面,徐申学都只能站在一旁担任解说,为一群来宾介绍海湾科技的HDUV-400型光刻机,陈述该型光刻机的重要历史意义以及现实意义。

    现在报道HDUV-600型光刻机的待遇,说实话都差了点……不过好歹也是关键技术突破,所以常规报道还是会有的。

    HDUV-600型研发成功并交付量产,这让国内很多人,尤其是一些自诩业内人士都感叹:是我太保守了。

    前几年海湾科技搞出来HDUV-400型号光刻机的时候,也引起了一片舆论的狂欢,不少业内人士也积极参与讨论。

    当时也有相关的探讨,那就是:

    海湾科技的光刻机,什么时候才能够追上ASML的水准。

    毕竟当时的HDUV-400光刻机,其性能也就大概和NXT-1950相当。

    而NXT1950出现的时候,那已经是2008年的事了,而该款光刻机也是推动半导体的芯片工艺从以往的六十五纳米,下探到32/28纳米工艺的核心设备。

    或者说,正是因为有了这款光刻机,才让32/28工艺具备了大规模量产的可行性。

    海湾科技可是花了好多年才弄出来了核心性能相当,但是生产效率还差一些的HDUV-400型光刻机……但是,这款光刻机历史意义重大,因为该款光刻机的出现,意味着海湾科技突破了一系列DUV浸润式光刻机的关键技术。

    当时,人们所畅想的是,海湾科技继续努力,争取三年一个台阶,在解决28纳米工艺之后,三年内解决可以进行双重曝光,能够把工艺下探到10-22纳米工艺的光刻机。

    至于更进一步,甚至能够进行四重曝光的光刻机,乐观估计,五年内能够解决就是巨大的胜利。

    但是让人没有想到的是,海湾科技在突破了DUV浸润式光刻机的关键技术后,在小型号的快速迭代上进展迅速,几乎一年一个台阶。

    去年推出HDUV-500型光刻机,把套刻精度做到了三点五纳米,实现了双重曝光的基本需求,可以用来做十四纳米工艺的芯片,一开始的性能上基本和NXT1965相当,但是不太成熟。

    后来海湾科技推出了升级型号HDUV-500A,虽然工作台产能一样,不过性能更好,更稳定,这款光刻机的性能除了产能低一些,其他性能指标基本上和NXT1970持平。

    而智云微电子以及隔壁的中芯,还有国内其他一些芯片厂商大规模采购的海湾科技的先进光刻机,其实都不是HDUV-500型号,而是HDUV-500A型。

    去年搞出来500型号就已经够夸张的了,结果海湾科技愣是在今年六月份的时候,就交付了更新一代的HDUV-600型,把套刻精度直接拉到了二点五纳米的水准。

    这一型号的核心性能水准,已经和NXT1980相当了……虽然还是有着老毛病,因为工作台不太行,所以生产效率低,后续的维护也会比较麻烦,但是还是太吓人了。

    而要知道,虽然去年ASML就已经搞出来了NXT1980光刻机,但实际上大规模出货也是在今年年初而已。

    而海湾科技的同级别光刻机大规模出货,则是迟了半年左右!

    这意味着,双方之间的差距从之前的十多年,再到四五年,然后又缩小到了现在的半年。

    这一系列的技术进步速度,让很多人都感觉到不可思议。

    别说外人不信了,自己人都不信……太尼玛夸张了。

    因此很多人也怀疑,海湾科技是不是抄袭了ASML的技术……还别说,他们没怀疑错,海湾科技还真就直接对着ASML的光刻机抄。

    抄就抄了,也没啥好丢人的,毕竟技术路线就那么几条,总不能人家在前头走过的路,海湾科技就不能走了啊。

    徐申学也好,海湾科技的研发人员也好,从不避讳这些,能抄就抄,抄不了硬抄……银河安保那边每年都送回来不少技术资料呢,这些技术资料不少都是带着血的,你说不抄就不抄啊?

    再者光刻机这东西,原理其实全世界都知道,甚至详细结构的示意图这些都能直接在互联网上搜索到。

    但是知道原理,知道结构的人多了去,然而能够真正做出来这种级别光刻机的厂商,目前只有两家:ASML以及海湾科技。

    这种级别的东西,把所有详细设计图全部送给你抄,还手把手教你,做不出来就是做出来,海湾科技得到EUV光源系统的完整设计资料都好几年了,还不是没能搞出来……

    因为难的不是光刻机的设计本身,而是各子系统!

    尤其是各子系统里的各种高精尖的零部件!

    DUV光刻机里头的镜片……就摆在那里,各种技术指标全球都知道,有本事你也造一个……

    全球范围内能够造这种镜片的只有三家厂商:德国蔡司,尼康,仙女山控股旗下的南江科技。

    南江科技的镜片除了供给光刻机外,还供给卫星,科研设备,顺带也做民用的消费级镜片,比如手机摄像头的镜片这些,乃是目前国内技术能力最顶级,全球范围也是前三的存在。

    为什么南江科技能做这种镜片?因为他们拥有多家研究机构手工定制的专项设备,比如离子束抛光机……其他企业,你连购买这些设备的途径都没有。

    因为这些设备根本就不是市面上的量产设备,而是属于严格管控,各科研所里折腾出来的顶级设备!

    没有一大串部门的批文,根本买不到。

    HDUV-600光刻机,也算是当下最顶级的工业设备了,这玩意其实可以随便卖,是个国内晶圆厂企业都能采购到,甚至海外晶圆厂经过批准也能购买。

    但是造光刻机零配件的一些核心设备,看都不给你看……

    很多东西,不是说想要抄袭都能抄袭的,想要抄袭,你也得造的出来才行……

    从材料到加工,每一步都是天坑。

    海湾科技的背后,是仙女山控股体系两百多家企业,而仙女山控股体系的背后,是国内数千家企业以及一百多个研究所,数十所顶级高校……其他企业,很难搞的,没这条件。

    当然,如果是欧美系国家的企业,他们不受制裁,可以自由的获得整个欧美日韩体系的工业成功,那么也能够攒出来……只不过对于欧美系的厂商而言,这么做得不偿失,得亏死他们。

    光刻机市场很小的,一年也才那么一百多亿美元的市场,属于非常小众,且门槛极高的小众市场。

    欧美市场有了ASML在前头拦着,尼康和佳能的生存空间极限,已经举步维艰,此外美国英特尔,格罗方德,高通等美国半导体行业公司,一度想要在美国搞一家光刻机厂商,这个过程当年徐申学其实也有参与……为的是给ASML使绊子。

    但是后续这个计划举步维艰,最后英特尔等公司也是不得不放弃,转而采取了控制ASML的方式。

    而华夏这边其实也差不多,已经有了海湾科技在前头,国内市场基本上没有第二家光刻机厂商生存的空间了。

    所以,在这个行业里,能抄都算是你本事……

    而海湾科技,则是属于那个能抄出来的!

    ————

    海湾科技的HDUV-600型号光刻机量产并出货,引起了业内人士的一些讨论,也引起了一些普通人的关注。

    而国内的一票晶圆厂们一个个各种资讯打探,然后下订单,苦巴巴等着这种先进光刻机。

    六月二十九日,徐申学出席了一个半导体行业会议,在会议上公式化演讲一番后,就和国内的一群半导体行业的企业老板们坐下来简单交流了一番。

    一些半导体设计行业的老总们,则是希望获得先进工艺的代工,比如十四纳米工艺……这一工艺的产能比较紧张,毕竟大部分都需要用来满足自产,少数剩余产能也是被大客户包揽,普通客户需要排队。

    一些人就希望和徐申学这边游说一番,能够尽量的拿到产能。

    对此,徐申学也只能是打太极拳,毕竟这一工艺的产能非常紧俏,答应了这家,另外一家怎么搞?

    所以只能是推给智云微电子那边去处理,自己则是打哈哈不给什么承诺。

    而一些晶圆厂的老总们,则是需要尽快的拿到先进的HDUV-600型光刻机。

    中芯,北方的华力微电子,北微等几家国内一线的晶圆厂,都指望着用这款光刻机来突破十四纳米工艺呢。

    但是他们想要拿到货,最早也要明年了。

    今年有限的HDUV-600的产能,将会全部供货给智云微电子,用于十纳米工艺以及后续七纳米工艺的生产。

    智云微电子的十纳米工艺已经完成了技术验证,目前还在提升良率当中,而使用之前的HDUV-500A光刻机来做这个等效十纳米工艺,也不是不能做的,但是良率太低,成本太高,商业化还是比较困难。

    因此等到明年的十纳米工艺正式量产,其实是会有HDUV-600型光刻机来承担的。

    此外,实际上后续扩产十四纳米工艺的话,也会使用这一款光刻机,主要是产量高,性能好,综合成本要更低一些。

    因此智云微电子,对HDUV-600型光刻机的需求量是非常大的。

    这也导致国内其他晶圆厂想要获得HDUV-600,难度还是比较大,数量也少一些。

    当然,他们其实也买不起多少,因为这款光刻机非常昂贵。

    智云微电子第一批次采购的HDUV-600光刻机,单价达到七千八百万美元,虽然价格比ASML的NXT1980的八千多万美元便宜一些,但也是属于超级昂贵的设备了。

    一些看似财大气粗的国内晶圆厂,如果要下单购买这种光刻机都得勒紧裤腰带,精打细算才行……毕竟一条产线,好歹你也得弄个四五台这种级别的光刻机啊,这么一来就得好几亿美元呢。

    再加上搭配的同级别的顶级配套设备……比如海湾科技里搭配推出的HSD-360型后道光刻机,这款后道光刻机也得三千多万美元。

    整条产线光是各种核心设备的采购成本,都得二十亿美元起步,这还是一条产线,产能极有有限,如果要大一些的产能,搞两条产线,三条产线,那么投资金额基本都是六七十亿美元起步。

    国内的晶圆厂,其实很少能玩得转,也就中芯勉强可以搞一搞,其他的也就是弄一台,两台光刻机,先尝个鲜,搞个测试,技术验证这些。

    然后再琢磨着怎么凑集资金搞新的晶圆厂。

    所以,对于国内的晶圆厂而言,HDUV-600型光刻机是女神,看着流口水,但是买不起。

    他们更主要的目的还是HDUV-500A型光刻机,甚至是HDUV-400型号光刻机。

    只不过这两款光刻机的产能其实也有限,国内一堆晶圆厂都在下单,又有智云微电子和中芯,还有其他几家一线晶圆厂优先拿货,所以普通中小晶圆厂想要及时拿货也不容易。

    海湾科技的HDUV-500A光刻机可以说物廉价美,目前售价只需要大概四千万美元左右,也就是600型的一半多点的价格。

    再加上海湾科技一向来提供打包服务,可以搭配选购各类配套的核心设备,不仅仅技术配套容易,产线能迅速运转,而且总价还可以打个折,摸个零头。

    最关键的是只要是国内厂商购买都是敞开了供货,只是要排队拿货而已,不像是购买ASML的光刻机一样,还需要各种折腾,很难获得批准。

    智云微电子能够从ASML里拿到先进光科技,不代表其他国内厂商也能够拿到新型号的光刻机……智云微电子无视制裁,不代表制裁不存在。

    此外海湾科技还能协调智云微电子那边给予一些成熟工艺的专利授权。

    诸多情况下,海湾科技的光刻机在国内卖的还是挺好的,三个型号的ARFI光刻机都需要排队拿货。

    而对于国内这些一线,二线晶圆厂而言,如果能弄一批HDUV-500A光刻机回去,再找智云微电子购买一些工艺专利,其他的不好说,但是三十二纳米或二十八纳米工艺搞起来问题不大。

    工艺技术不行,就用光刻机性能强行堆上去呗,力大出奇迹嘛!

    HDUV-500A的套刻精度可是能达到三点五纳米,单次曝光分辨率能够达到三十八纳米,理论上甚至都能通过多重曝光搞等效十纳米工艺的光刻机。

    一个晶圆厂如果用这种光刻机都做不了二十八纳米工艺,那么还玩个啥的晶圆厂啊,回家种番薯去好了。

    要知道,智云微电子今年搞等效十纳米工艺技术认证的时候,用的也就是这款光刻机。

    同样的光刻机,人家可以玩十纳米,你连个二十八纳米都玩不了,还那玩个啥……

    不管怎么说,因为海湾科技的出现,再加上智云微电子也愿意放开一些成熟工艺的专利付费授权,让其他一些晶圆厂作为自己的附加产能。

    这都导致了国内的半导体制造行业发展迅速,一些老牌晶圆厂企业开始上马新工厂,新工艺,甚至也有一些创新公司出现,开始涉足半导体制造领域。

    尽管他们涉足的都是成熟工艺,甚至是落后工艺,但是这依旧是一个非常良好的现象。

    半导体领域里,先进工艺固然好,但是成熟工艺才是主流,哪怕十年后,130-250纳米工艺都还大有市场。

    55-90纳米工艺还是有一定市场份额。

    而28-45纳米工艺的市场,依旧属于主流市场。

    因此,国内不少国内晶圆厂,瞄准的就是成熟工艺乃至落后工艺市场……主要是这两个领域的市场,智云微电子涉足的不多,产能极为有限。

    智云微电子眼界高啊,一开始就奔着先进工艺去的,对成熟以及落后工艺没怎么搞、

    这意味着给国内的芯片代工市场流出了巨大的市场空间!

    智云微电子的65纳米以上工艺节点的产能,甚至都无法满足集团内部的庞大需求,但是已经停止产能扩充!

    如今智云集团旗下的智云半导体的诸多成熟芯片,辅助芯片的生产,都还需要找中芯,华力微这些国内晶圆厂进行代工。

    顺带一提,智云半导体以及智云储存这两家芯片设计企业,不仅仅是智云微电子的超级大客户,同时也是国内其他几家一线晶圆厂的大客户!

    比如中芯的重要营收来源,就是储存芯片代工,而其最大客户其实就是智云储存。

    因为智云微电子旗下的江城半导体,产线过于先进,没有太多成熟,落后工艺的产能,但现实里,很多特殊领域所用的储存芯片其实也不需要多么先进的工艺……如此情况下,智云储存就会把这些成熟工艺的储存芯片的代工生产,交给中芯去代工。

    这也是很多人说的,智云半导体再加上一个智云储存,直接养活了大半个国内半导体制造行业,为国内的晶圆厂带来了庞大的营收,丰厚的利润,然后才有资金考虑扩充产能,提升工艺。

    这也是徐申学参加这一次半导体行业会议的原因,因为半导体制造行业的总体规模太大了,光靠智云微电子一家是很难搞的。

    智云微电子始终瞄准的都是先进工艺,玩的是十四纳米,十纳米,七纳米,甚至是未来的五纳米,三纳米,已经没有太大的精力去扩充成熟工艺的产能,甚至连28-45纳米工艺的产能经过短期扩充后,后续都不打算扩充了。

    至于55纳米以上工艺,现在更是连产能扩充计划都没有了。

    但是,国内的电子消费产业以及其他个行业,对28纳米工艺以上,甚至对55纳米工艺以上的芯片数量需求,日渐增加,这就需要其他晶圆厂来填补这个缺口。

    毕竟,国内的整体芯片产能需求,保守估计也是月产一千万片以上,但是现在才几百万片月产能而已,还有巨大的增量空间。

    至于先进工艺,才那么几十万片的产能,对于整个芯片行业动不动上千万片的巨大产能,比例可以说小的可怜。

    但是晶圆厂投资实在太大了,光靠徐申学自己搞,得搞到猴年马月去。

    所以徐申学还是非常希望,国内的其他晶圆厂能够积极进取,承担起来成熟工艺以及落后工艺的产能扩充重任的。

    只要他们去做,那么徐申学就给专利授权,就卖光刻机为核心的全套设备,顺带都还能给一些订单扶持。

    他们要做的,就是直接去寻求资金……

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